7月29日，南化公司电子级硫酸装置一次开车成功，顺利产出产品，产能将达2万吨/年，标志着该公司具有自主知识产权的高端电子级硫酸制备技术成功应用，助力公司在转型升级发展中迈出关键步伐。

电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂。作为微电子技术发展不可或缺的关键基础化学试剂，它是半导体行业常用的八大化学试剂之一。在芯片生产过程中，电子级硫酸可有效去除晶片上附着的油脂、杂质颗粒等，其纯度和洁净度对电子元件的成品率、电性能及可靠性影响重大。南化公司此次生产的适用于半导体行业的G4级电子级硫酸，每克金属离子含量低于百亿分之一。

南化公司拥有硫酸、硝酸、盐酸等多套基础化学品装置。此次开车成功的G4级电子级硫酸装置，是公司一套老旧硫酸生产装置拆除后升级改造而成，采用蒸发提纯法进行生产。

为保障装置顺利开车，南化公司精心挑选技师、操作骨干，开展脱产培训。装置开车前，针对不同设备、不同管线制定针对性清洗方案，确保设备、管道清洗不留死角，为装置开车一次成功并产出合格产品奠定坚实基础。

下一步，南化公司将继续向电子级硝酸、电子级盐酸、电子级氢氧化钠等化学品领域扩展实验，形成较完善的高端产业链。

来源：中国石化报 8月11日